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集成电路生产制造阶段，质量工具是过程质量控制非常重要的标准工具之一。质量工具能够进一步的保障晶圆的质量符合用户的要求，高标准的晶圆制造质量，可以让一些集成电路生产厂家迅速的提升企业的核心竞争力，因而重视质量工具的应用在集成电路的生产中是至关重要的。
在集成电路生产过程中，主要的质量控制工具，是一些比较优质的质量控制方法，比如包括PDCA问题解决法。对生产制造过程中可能存在的安全隐患进行搜集并通过。具体的干预措施，解决相关的质量问题，实现精细化的生产，达到精益生产的目的，满足用户对集成电路的质量要求。
在集成电路生产过程中，质量控制的过程主要分为三个步骤：一是先进产品质量控制计划，集成电路的生产厂家必须按照客户的要求做好物料人机以及生产方法的准备，制定出完善的生产计划，规避生产过程中可能存在的风险项；二是预防措施。在生产完成的产品中，需要及时的进行产品的检验，对于一些产品的异常项进行质量管控；三是异常品处置管控，在集成电路生产过程中，可以结合统计学知识设计出产品质量控制区间，有一部分产品的数据在质量控制区间之外，就可能被认为产品质量的异常通过。质量控制区间的设定，能够从科学化的角度对产品的质量进行管控。
